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掩模基板双折射（关于掩模基板双折射简介）
导读 大家好,小端来为大家解答以上的问题。掩模基板双折射，关于掩模基板双折射简介这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！1、 掩模上...
大家好,小端来为大家解答以上的问题。掩模基板双折射，关于掩模基板双折射简介这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧！
1、 掩模上的吸收层（absorber）随温度的热胀冷缩（thermal expansion）会在掩模表面形成应力，掩模保护膜（pellicle）的蒙贴也会产生应力，这些应力的存在会导致掩模基板发生双折射。
2、称为掩模基板双折射。
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